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外形尺寸424*265*260MM输入电压220V/50Hz溅射电压600V工作原理磁控溅射最大功率4507靶材尺寸057*0.12MM (AU)可选靶材金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材真空泵直连式两级旋片式真空泵1心/S真空室0128*130MM高强度玻璃极限真空1PA(电阻式真空规)抽气节拍≤90S样品杯00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个样品室进气自动：高精度微量进气阀进气接头O4快拧接头（外径4M,内径2.5MM气管)江作电流5-45MA任意可调颗粒大小6-10NM保护功能过流保护、真空保护

腔体尺寸石英玻璃，直径150mm*高度130mm供电规格AC220V,200W溅射电压MAX 2500V溅射电流MAX 30mA靶材尺寸直径57mm,厚度0.1~0.5mm适用靶材贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,普通金属Cu、W、Ag、Cr等样品台可调高度20-50mm样品台尺寸直径55mm工作真空度1~20Pa气体路数单路补气流量手动调节控制触屏控制真空泵VRD-8

安装条件本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用.1、水：不需要2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地3、气：设备腔室内需充注气气（纯度99.99%以上），需自备氛气气瓶（带压减阀）4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上5、通风装置：不需要主要参数1、输入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵)2、输出功率：1600VDC50mA(最大电流)3、石英置：0160mm×120mm4、样品台：050mm(可选购加热型样品台，最高温度可到500℃：最长溅射时间不可超过5min)5、真空泵：120L/M旋片式真空泵7、靶材：尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni产品规格尺寸：360mm×350mm×3600mm;重量：50kg可选配件1、KF25真空接口、卡箍2、不锈钢波纹管(600mm)3、旋片式真空泵(120L/M)4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材5、加热型样品台

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。1、水：不需要2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地3、气：设备腔室内需充注氢气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上5、通风装置：不需要1、电源：220V2、总功率：<2000W(包括镇空泵)3、真空室：0160mm×120mm4、样品台：O50mm,且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜5、max均匀镀膜：045mm尺寸：400mmx300mm×400mm重量：30KG1、金靶材1个2、进气针阀1个3、保险丝2个金、铟、银、铂等各种靶材

1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm　纯度：99.999%2、真空样品室：直径：160mm，高：110mm3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm4．工作真空： 2×10-1—10-1mbar5.离子电流表：0-50mA6.计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。7.溅射电压：-1600DVC8.飞越真空泵（VRD-4）：1.1L/S9.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体10．针阀： 配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管。

参数：仪器尺寸 ： 340mm×390mm×300mm（W×D×H）真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 170mm×130mm（D×H）蒸发材料: 碳纤维双丝可A\B分别选择操作真空： 4×10-2mbar工作电压： 0-30V /AC蒸碳电流： 0-100A蒸碳时间： 0-1s真空泵： 2升两级机械旋转泵(国产飞越VRD-8)

参数：主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）样品台尺寸：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定样品台靶材尺寸：Ф50mm真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar