外形尺寸

424*265*260MM

输入电压

220V/50Hz

溅射电压

600V

工作原理

磁控溅射

最大功率

4507

靶材尺寸

057*0.12MM (AU)

可选靶材

金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材

真空泵

直连式两级旋片式真空泵1心/S

真空室

0128*130MM高强度玻璃

极限真空

1PA(电阻式真空规)

抽气节拍

≤90S

样品杯

00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个

样品室进气

自动：高精度微量进气阀

进气接头

O4快拧接头（外径4M,内径2.5MM气管)

江作电流

5-45MA任意可调

颗粒大小

6-10NM

保护功能

过流保护、真空保护