安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用.

1、水：不需要

2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气气（纯度99.99%以上），需自备氛气气瓶（带压减阀）

4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上

5、通风装置：不需要

主要参数

1、输入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵)

2、输出功率：1600VDC50mA(最大电流)

3、石英置：0160mm×120mm

4、样品台：050mm(可选购加热型样品台，最高温度可到500℃：最长溅射时间不可超过5min)

5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

7、靶材：尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni

产品规格

尺寸：360mm×350mm×3600mm;

重量：50kg

可选配件

1、KF25真空接口、卡箍

2、不锈钢波纹管(600mm)

3、旋片式真空泵(120L/M)

4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材

5、加热型样品台