本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氢气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上

5、通风装置：不需要

1、电源：220V

2、总功率：<2000W(包括镇空泵)

3、真空室：0160mm×120mm

4、样品台：O50mm,且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜

5、max均匀镀膜：045mm

尺寸：400mmx300mm×400mm

重量：30KG

1、金靶材1个

2、进气针阀1个

3、保险丝2个

金、铟、银、铂等各种靶材