参数：

仪器尺寸 ： 340mm×390mm×300mm（W×D×H）

真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 170mm×130mm（D×H）

蒸发材料: 碳纤维双丝可A\B分别选择

操作真空： 4×10-2mbar

工作电压： 0-30V /AC

蒸碳电流： 0-100A

蒸碳时间： 0-1s

真空泵： 2升两级机械旋转泵(国产飞越VRD-8)

产品名称：Sem喷金离子溅射仪

产品类别：机械及行业设备/其他行业专用设备

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