参数：

主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

样品台尺寸：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定样品台

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

产品名称：低真空小型离子溅射仪

产品类别：机械及行业设备/其他行业专用设备

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