品牌:英鹏型号:YP-150IS腔体尺寸:石英玻璃,直径150mm*高度130mm供电规格:AC220V,200W溅射电压:MAX 2500V溅射电流:MAX 30mA靶材尺寸:直径57mm,厚度0.1~0.5mm适用靶材:贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,普通金属Cu、W、Ag、Cr等样品台可调高度:20-50mm样品台尺寸:直径55mm品牌英鹏型号YP-150IS腔体尺寸石英玻璃,直径150mm*高度130mm供电规格AC220V,200W溅射电压MAX 2500V溅射电流MAX 30mA靶材尺寸直径57mm,厚度0.1~0.5mm适用靶材贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,普通金属Cu、W、Ag、Cr等样品台可调高度20-50mm样品台尺寸直径55mm