参数：

主机规格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）

电源规格：220V(可做110V),50HZ

靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

真空样品室：硼硅酸盐玻璃115mm×100mm（D×H）

定时器：最长时间：3600S

机械泵：1L/S

最高电压：-1200 DCV

产品名称：可旋转离子溅射仪镀金靶材

产品类别：机械及行业设备/其他行业专用设备

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