参数：

主机规格：305mm×365mm×325mm（W×D×H）

靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等

样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

离子电流表：最大电流：50mA

定时器：最长时间：3600s

微型真空气阀：可连接φ3mm软管

可通入气体：多种

最高电压：-1600 DCV

输入电压：220V(可做110V),50HZ

机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

产品名称：离子溅射仪玻璃罩

产品类别：机械及行业设备/其他行业专用设备

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