参数：

仪器尺寸：305mm×400mm×390mm（W×D×H）

真空样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×110mm（D×H）

靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

溅射靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

溅射靶材大小：φ50mm

样品台：样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台

溅射工作电压：0-1600V (DC)可调

溅射电流：0-50mA

溅射定时：0-360S

蒸碳电流0-100A(AC)

蒸发材料：碳纤维

蒸发工作电压：0-30V

蒸发时间：0-1S

微型真空气阀：可连接φ3mm软管

可通入气体：多种

输入电压：220V(可做110V),50HZ

真空泵：2升机械旋转泵（国产VRD-8）

产品名称：磁控溅射靶材喷金

产品类别：机械及行业设备/其他行业专用设备

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