仪器多机尺寸：长610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔体总高490mm)

工作腔室尺寸：：金篇腔体：直径260mmX高270mm(外尺寸）

直径210mmX高270mm(内尺寸)

靶材尺寸：室径50mmX罩3mm(图契材材质不司星度有所不司）

靶材料：标配一杂直径50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金属膜）

靶枪冷却方式：水冷

真空系统：抗冲击涡轮分子泵，抽速为300L/s

前级机械泵：抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器

真空测量：采用复合真空计些测真空

极限真空度：5×10Pa(10分钟可到5×10Pa)

电源：官流恒流电源：

翰入克压：220W

输出电压：0-600r可话

输出电流（沉积电流）：0-1.6A可调

教样台：旋装台（直径尺寸用户可选，最大不能超过中150mm)

工作气体：Ar笺管性气体（警自备气瓶及减压阀）

气路：谁射喜空度手动道整

沉积速宝：0-200nm

水冷：自循环冷却水机

电源电压：220V50Hz

启动功室：3KW

产品名称：银靶材钯靶材科研用

产品类别：机械及行业设备/其他行业专用设备

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